產(chǎn)品[
MKS電源-射頻功率電源
]資料
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產(chǎn)品名稱: MKS電源-射頻功率電源
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商:
MKS電源
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
ENI提供高可靠性的固態(tài)電源，其頻率從2MHz到60MHz，功率從3百瓦到13千瓦，還可選自動頻率跳鞋，廣泛應(yīng)用于Etch，CVD和PVD等工藝。
MKS電源-射頻功率電源的詳細介紹
中頻射頻功率電源（2MHz）
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NOVA系列，功率為2和5千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。
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Spectrum 系列，功率為5和11千萬，自動頻率調(diào)諧可選。
高頻射頻功率電源（13.56MHz）
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elite系列風(fēng)冷電源，功率為300，600和750瓦。
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GHW系列電源，功率為1.25，2.5和5千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。
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Spectrum 系列電源，功率為3千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。
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SurePower系列電源，功率為3.5，5.5，6.5，10.5和13千瓦，自動頻率調(diào)諧可選。
超高頻射頻功率電源（40.68-60MHz）
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GEW系列電源，功率為3.5和5千瓦，40.68MHz自動頻率調(diào)諧可選。
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LVF系列電源，功率為3.5千瓦，60MHz，自動頻率調(diào)諧可選。